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3 B-440 Operation Manual, Version D

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1 About this manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5

2 Safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2.1 User qualiﬁcation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2.2 Proper use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2.3 Improper use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6

2.4 Safety warnings and safety signs used in this manual . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

2.5 Product safety. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

2.5.1 General hazards. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

2.5.2 Warning labels on housing and assemblies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

2.5.3 Personal protective equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10

2.5.4 Built-in safety elements and measures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

2.6 General safety rules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11

3 Technical data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

3.2 Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

3.3 Materials used. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13

4 Description of function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

4.1 Functional principle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14

5 Putting into operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

5.1 Installation site. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

5.3 Electrical connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

5.3.1 System behaviour at power outage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16

6 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17

6.1 Operating controls and housing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

6.2 Preparing for use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

6.2.1 Filling of the condensate trap (optional) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

6.2.2 Installing the vitriﬁed ceramic plate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22

6.2.3 Installing the glass hood. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23

6.3 Setting up application parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

6.4 How to perform a wet application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24

6.5 Finishing an application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

6.3 Optimization principle for ashing programs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26

7 Maintenance and repairs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

7.1 Customer service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27

7.2 General inspection and cleaning instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

7.2.1 Additional cleaning instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28

7.2.2 Liquid ingress into the instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

7.5 Reﬂector exchange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29

8 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

8.1 Malfunctions and their remedy. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

8.1.1 Heating performance test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31

9 Shutdown, storage, transport and disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

9.1 Storage and transport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

9.2 Disposal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32

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